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激光精细打孔技术在陶瓷基板领域实现量产应用

2025-12-16

激光精细打孔技术在陶瓷基板领域实现量产应用

激光精细打孔技术凭借其高精度、高效率及非接触式加工特性,已成为陶瓷基板领域实现量产应用的核心工艺。该技术通过聚焦高功率密度激光束,使陶瓷材料表面局部熔化、汽化,形成微米级孔洞,突破了传统机械钻孔因材料硬度高、脆性大导致的加工瓶颈。

在量产应用中,激光打孔展现出显著优势。其一,加工精度可达±3μm,孔径范围覆盖0.003mm至0.5mm,满足高密度互连需求,如LED芯片封装基板、功率半导体散热孔等场景。其二,非接触式加工避免了机械应力导致的基板破裂,良品率提升至99%以上,尤其适用于0.25mm超薄陶瓷基板的加工。其三,设备支持多孔同步加工,速度达100孔/秒,配合自动化产线可实现24小时连续生产,单线日产能突破10万片。

技术适配性方面,激光打孔可灵活处理氧化铝、氮化铝、氮化硅等主流陶瓷材料,并支持圆孔、盲孔、斜孔等复杂孔型加工。例如,在5G基站滤波器生产中,激光打孔技术实现了0.1mm微孔的批量制备,助力产品体积缩小40%。随着紫外激光、皮秒激光等新型光源的应用,热影响区进一步缩小至5μm以内,为陶瓷基板在航空航天、新能源汽车等高端领域的规模化应用提供了技术保障。